Lineare Plasmaquelle für die Inline-Vorbehandlung von bandförmigen Materialien in Vakuum-Beschichtungsanlagen

Vorbehandlung von Folien, Bändern, Textilien, aber auch von flachen, nicht bandförmigen Substraten
Einsatz in Bedampfungsanlagen, Sputteranlagen u.a.
Arbeitsbereich von ca. 0,1 Pa bis 1,0 Pa
Effekte der Vorbehandlung
  • Verbesserung der Schichthaftung
  • optimales Schichtwachstum und höhere Schichtqualität
  • eine Erhöhung der Permeationsbarriere